MICROFLEX TECHNOLOGIES高流动性基板MSA-043-315

MicroSeal 系列是高纯度、高完整性密封件的完整产品线，适用于工业和半导体应用，包括低流量、高流量、高压和低压降。我们还提供孔口密封件和盲孔密封件，用于封闭备用端口。其他主要优点包括高清洁度和无源、富铬、低 Ra 表面光洁度。MicroSeals 可改装为标准的 “C ”型密封系统。我们的密封件符合 SEMI 标准 PR 3.1、3.5 和新的大流量标准。MicroSeal 的设计具有更柔软、更顺从的界面，可根据配合表面自行成型，确保泄漏密封性，并在不牺牲回弹特性的情况下减免泄漏。这是市场上具有高回弹性的高顺应性密封件。MicroSeals 的回弹率是同类密封件设计的十倍之多，而且对空腔公差的容忍度高。这确保了密封面在恶劣压力、温度和振动条件下保持紧密接触。MicroSeal 组件，组件上使用的大流量，3 端口表面贴装 1-1/2" 接口

优化的内径，可在中流量、高流量、蒸汽和液体输送系统中实现低压降

低压缩率，确保气体/液体输送系统的高可靠性

密封回弹力是传统设计的 10 倍，可在冲击和振动条件下实现泄漏完整性

符合 SEMI PR 3.1 和 3.5 标准

高纯度双熔体 316 不锈钢

洁净被动式富铬表面

5 Ra 润湿表面处理

减免了高成本的返工和报废现象

产地：美国

材料：>0.004 % 硫含量

铬/铁比率：铬/铁比率 2.5

氧化物厚度（减碳）：CrO 厚度（减碳）35 角

表面粗糙度：＜ 1 微英寸

缺陷：每个位置少于 1 个缺陷

泄漏测试，设计压力：5000 psig

外侧泄漏：<7 x 10^-11 atm·cc/sec He，100 psig，暴露于 5000 psig 后

压力测试7500 psig 时的防爆：看不到流体静压测试液

防漏部件密封性：<7 x 10^-11

爆裂测试（静水压）：在 > 20,000 psig 压力下爆裂

振动-MIILSPEC 810E Sec 1 类别 1：内侧泄漏： 经过 MIL-SPEC810E Sec 1-3 类别 1 测试后，<7 x 10^-11 atm·cc/sec He

冲击 - 以 25G 为增量进行跌落测试：冲击超过 >294 G - 无泄漏

内侧泄漏：<7 x 10^-11 atm·cc/sec He

扭矩：10、15、24、30、36 和 48 英寸/磅

可重复性：使用 20 套新密封件制作和重新制作基体

通过内侧泄漏：<7 x 10^-11 atm·cc/sec He，在每次制作和重新制作以及 20 次重新制作循环之后以 10、24 和 48 英寸/磅扭矩进行测试

扭矩测试后，内侧泄漏：< 5 x 10^-11 atm·cc/sec He

温度循环

板内泄漏：在每个温度下通过泄漏测试 <7x 10^-11 atm·cc/sec He

温度冲击测试：+200 至 -196 ℃（直接插入液态 N₂ 中）

在 <7 x10^-11 atm·cc/sec He 条件下无泄漏

标准密封：685 磅

工业、半导体