ICHOR计量阀MMV-24-2-3-HF-A-H

Ichor Systems 生产全系列常规、模块化隔膜阀、模块化计量阀和止回阀，其性能和纯度均达到或超过所有行业标准。我们的常规隔膜阀 (CDV) 系列可为常规安装系统提供高可靠性和价值，而我们的模块化隔膜阀 (MDV) 系列则专为模块化表面安装系统而设计。我们所有阀门的设计均符合 SEMI 规范，具有良好的可靠性和性能，并与市场上所有竞争系统兼容。客户须确保所选部件是符合其防护性能的适当部件，同时考虑到气体/流体输送系统的材料兼容性、操作条件、正确安装等因素。

模块化计量阀

1.500" W 密封

3 端口，大流量

316L，高纯度

纯度

材料

流速

端口数

密封类型

底座尺寸

产地：美国

工作压力：真空至 200 psig

Max流量系数：0.13 cv

流量：大流量

孔径：0.090 英寸

工作温度：-20 至 200 ℃（13 至 392 ℉）

底座尺寸：1.500 英寸

密封类型：W 型密封

端口数：3 端口

主体材料：316L

纯度等级：高纯度

膜片材料：elgiloy

润湿表面处理：10 Ra

清洗：超声波清洗和电抛光

驱动类型：手动旋转

爆破压力：3000 psig

流体输送、半导体、制造业、集成解决方案