模块化气体输送系统正迅速取代传统气体面板,成为行业标准。Ichor 的 TMS(Talon 模块化系统)气体输送系统具有更小的包络面、从 1.125 标准流量到 1.50 大流量 C 和 W 密封的可配置性、更高的生产率和更短的维护时间。客户须确保所选部件是符合其防护性能的适当部件,同时考虑到气体/流体输送系统的材料兼容性、操作条件、正确安装等。
TMS
1.125" C 形密封插件
等短
产地:美国
底座尺寸:1.125 英寸
密封件类型:C 型密封件
部件:插入式
零件类型:ISO
零件配置:短
材料:316L SST semi F20
润湿表面处理:5 ra
清洗:超声波清洗
抛光方式:电抛光
流体输送、半导体、制造业、集成解决方案