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ICHOR端口阀CDV4A-FSFS-03VSU

产品介绍

Ichor Systems 生产全系列常规、模块化隔膜阀、模块化计量阀和止回阀,其性能和纯度均达到或超过所有行业标准。我们的常规隔膜阀 (CDV) 系列可为常规安装系统提供高可靠性和价值,而我们的模块化隔膜阀 (MDV) 系列则专为模块化表面安装系统而设计。我们所有阀门的设计均符合 SEMI 规范,具有高可靠性和性能,并与市场上所有竞争系统兼容。客户须确保所选部件是符合其防护性能的适当部件,同时考虑到气体/流体输送系统的材料兼容性、操作条件、正确安装等

性能特点

CDV:1/4" 2 端口阀 (1-2)

内螺纹端面密封,旋转

气动操作 N.C.

VESPEL 316L SST semi F20

更高纯度

选型指南

  • 端口配置代号(入口 - 出口)

a = 双端口阀门 (1-2)

b =2 端口阀 (3-1)

c =3 端口阀 (3-1/2)

d =3 端口阀 (2-1/3)

e =3 端口阀 (1-2/3)

f =3 端口阀 (1/2-3)

g =3 端口阀 (1/3-2)

h =3 端口阀 (2/3-1)

i =4 端口阀 (1/3/4-2)

j =4 端口阀 (1-2/3/4)

k =4 端口阀 (1/2-3/4)

l =4 端口阀 (1/4-2/3)

m =2 端口阀 (5-1)

N =2端口阀 (1-3)

  • 连接类型代号

FS = 内螺纹端面密封,旋转式

mv = 外螺纹端面密封

ms = 外螺纹端面密封,旋转式

TS = 卡套管

  • 阀座材料代号

K = PCTFE (KEL-F)

V = VESPEL

P = PEEK

F = PFA / ASTM D3307, 类型 II

  • 材料代号

S = 316L SST semi F20

A = 316L

N = 镍 200

M = 镍 400

H = 镍合金 C22

  • 纯度代号

S = 标准表面处理

H = 高纯度

U = 更高纯度

技术参数

产地:美国

工作压力:真空至 150 psig

端口配置:2 端口阀 (1-2)

连接 1 类型:外螺纹端面密封,旋转式

连接 2 类型:外螺纹端面密封,旋转式

工作温度:-10 至 150 ℃(15 至 300 ℉)

主体材料:316L SST semi F20

纯度等级:更高纯

阀座材料:vespel

执行机构特征:1/8"-27 npt

隔膜材料:elgiloy

流量系数:0.3 cv

润湿表面光洁度:5 ra

清洗:超声波清洗和电抛光

驱动类型:气动控制 N.C.

爆破压力:4500 psig

执行压力:65 至 125 psig

连接尺寸:1/4 英寸

产品尺寸

产品应用

流体输送、半导体、制造业、集成解决方案


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