Ichor Systems 生产全系列常规、模块化隔膜阀、模块化计量阀和止回阀,其性能和纯度均达到或超过所有行业标准。我们的常规隔膜阀 (CDV) 系列可为常规安装系统提供高可靠性和价值,而我们的模块化隔膜阀 (MDV) 系列则专为模块化表面安装系统而设计。我们所有阀门的设计均符合 SEMI 规范,具有良好的可靠性和性能,并与市场上所有竞争系统兼容。客户须确保所选部件是符合其防护性能的适当部件,同时考虑到气体/流体输送系统的材料兼容性、操作条件、正确安装等因素。
模块化隔膜阀
1.500" C 型密封, 2 端口
Hybrid LOTO, PFA / ASTM D3307
类型 II, 镍 200, 高纯度
纯度
材料
底座材料
传动类型
端口数
密封类型
底座尺寸
产地:美国
工作压力:真空至 150 psig
工作温度:-10 至 150 ℃(15 至 300 ℉)
基座尺寸:1.500 英寸
密封类型:C 形密封
端口数:2 个端口
主体材料:镍 200
纯度等级:高纯度
阀座材料:PFA/ASTM D3307,II 型
执行机构特点:M5 螺纹和 1/4 转手动操作
膜片材料:elgiloy
流量系数:0.3 cv
润湿表面光洁度:10 ra
清洗:超声波清洗
驱动类型:混合动力
爆破压力:4500 psig
执行压力:65 至 125 psig
流体输送、半导体、制造业、集成解决方案