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WASCO开关UHP169-31W3B/3408

产品介绍

UHP160 系列除采用全焊接结构外,还采用了全不锈钢传感器。UHP160 系列采用 Wasco 专有的制造方法,去除了所有泄漏途径。该系列是处理腐蚀性介质的理适配选择,精度高,公差小。我们为更高纯度应用(如半导体设备)设计了这些开关。UHP160 系列不含任何弹性体或 O 形圈。根据 SEMI F1 标准,所有开关的氦气泄漏测试均达到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec。UHP160 系列在 100 级洁净室中制造和包装。

性能特点

全焊接结构

不锈钢传感器

处理腐蚀性介质

精度高,公差小

氦气泄漏测试达到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec

100 级洁净室中制造和包装

选型指南

WASCOINC UHP169-31L2B-X/1767

WASCOINC UHP169-31W3A/1657

WASCOINC UHP169-31WV2B-X/9963

WASCOINC UHP169-31L2B-X/1601

WASCOINC UHP169-31W3B/3408

技术参数

产地:美国

传感器:3

Max系统压力:30.0 inHg

设定点范围:1.6 至 29.5 inHg

设定点公差:± 1.2 inHg

复位带:1.0 至 4.6 inHg

接头材质:316 L SS

膜片材质:17-7PH SS 和 316 L SS

使用周期:≥ 1,000,000 次

入口防护等级:IP 67

泄漏率:氦气泄漏测试 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec

工作温度:-65 至 225 ℉;-54 至 107 ℃

产品尺寸

产品应用

气箱、臭氧系统、气体分配系统、半导体设备


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