UHP160 系列除采用全焊接结构外,还采用了全不锈钢传感器。UHP160 系列采用 Wasco 专有的制造方法,去除了所有泄漏途径。该系列是处理腐蚀性介质的理适配选择,精度高,公差小。我们为更高纯度应用(如半导体设备)设计了这些开关。UHP160 系列不含任何弹性体或 O 形圈。根据 SEMI F1 标准,所有开关的氦气泄漏测试均达到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec。UHP160 系列在 100 级洁净室中制造和包装。
全焊接结构
不锈钢传感器
处理腐蚀性介质
精度高,公差小
氦气泄漏测试达到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec
100 级洁净室中制造和包装
WASCOINC UHP169-31L2B-X/1767
WASCOINC UHP169-31W3A/1657
WASCOINC UHP169-31WV2B-X/9963
WASCOINC UHP169-31L2B-X/1601
产地:美国
传感器:3
Max系统压力:30.0 inHg
设定点范围:1.6 至 29.5 inHg
设定点公差:± 1.2 inHg
复位带:1.0 至 4.6 inHg
接头材质:316 L SS
膜片材质:17-7PH SS 和 316L SS
使用周期:≥ 1,000,000 次
入口防护等级:IP 67
泄漏率:氦气泄漏测试 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec
工作温度:-65 至 225 ℉;-54 至 107 ℃
气箱、臭氧系统、气体分配系统、半导体设备