COHERENT准分子激光器LEAP 50A

LEAP 准分子激光器集高占空比输出、高可靠性和低拥有成本于一身。这使它们成为各种高要求、高产能、高精度微处理任务的适配光源，从显示器制造到超导磁带的卷对卷制造，不一而足。LEAP 激光器的波长为 193 nm、248 nm 或 308 nm，输出功率高达 600 W（脉冲能量高达 1.25 J）。这种功率采用紧凑型封装，易于集成到工具或其他生产设备中。

紧凑型工业设计，易于集成

按需脉冲，实现低成本高工作效率的激光升/降

高激光能量，用于快速大面积加工

以太网接口，用于控制和快速数据采集

193 nm、248 nm 和 308 nm 波长，可对多种材料进行优化加工

产地：美国

波长：193 nm

稳定能量范围：200 至 250 mJ

Max 重复频率：200 Hz

Max稳定平均功率：50 W

1 sigma 能量稳定性：≤ 2 %

脉冲持续时间（FWHM）典型值︰18 ns

光束尺寸（V x H，FWHM）典型值︰25 x 13 mm²

发散（V x H，FWHM）︰≤4.5 x ≤1.5 mrad²

Max稳定能量下的动态气体寿命：20 百万脉冲

电气：3 相，200/208 或 400 VAC，50/60 Hz

水冷：8 至 20 升/分钟；T=18 至 21 ℃

重量：860 kg（1896 磅）

机柜尺寸 (长x宽x高)：2415 x 800 x (1090 ±10) mm；95.1 x 31.4 x (42.9 ±0.4) in

LLO - 激光剥离（OLED 和 MicroLED）、PLD - 脉冲激光沉积、LDP - 激光直接图案化、微结构、LIFT - 激光诱导正向转移（MicroLED）