COHERENT准分子激光器COMPex F2

COMPex 准分子激光器是一种有效光源，设计紧凑，易于安装和操作。它们可在固体取样系统（LA-ICPMS）、材料研究（PLD）和材料加工等要求苛刻的应用中提供更高的效果。COMPex 采用陶瓷预电离技术，可提供数百毫焦输出，以及高脉冲-脉冲稳定性。COMPex 还配备了改进的气体处理器，可延长气体和光学器件的使用寿命。

可选择 157 nm、193 nm、248 nm、308 nm 和 351 nm 波长，具有高材料灵活性

高达 750 mJ 的脉冲能量，可实现大场尺寸的有效烧蚀

0.75 % 均方根脉冲稳定性，确保高通量控制

脉冲控制和系统参数记录，提供智能和可重现的薄膜

高速 USB 2.0 标准 A：从激光控制器上传/下载数据

高速 USB 标准 B：用于输入/输出操作模式的虚拟串行端口

以太网网络连接 RJ45：向激光控制器上传/下载数据/从激光控制器上传/下载数据

产地：美国

输出波长：157；193 nm

脉冲能量：32；400 mJ

平均功率：1.6；15 W

Max重复率：50 Hz

1 sigma 能量稳定性：≤ 0.75 %

脉冲持续时间（FWHM）typ.：20 ns

光束尺寸（V x H，FWHM）typ.：22 x 8 mm²

光束发散（V x H，FWHM）typ. ：3 x 1 mrad²

1 sigma 光束指向稳定性：≤ 50 µrad

电气：200 至 240 V AC，16 A，50/60 Hz 可切换，单相；100 至 120 V AC，25 A，50/60 Hz 可切换，单相

水冷却：≤ 5 l/min（1.3 gal./min）

环境温度：10 至 20 ℃

连接尺寸： 1/2"

重量：325 kg（717 磅）

尺寸（长x宽x高）：1658 x 375 x 813 mm；66 x 15 x 32 英寸

F-版本部件号：1314952

PLD - 脉冲激光沉积、薄晶片加工、激光剥离/脱粘、LA-ICP-MS